날아라팡's 반도체 아카이브

MOS CAPACITOR에 대한 포스팅에서 Gate가 Metal로 되어 있을 때를 분석하였다. 하지만 실제론 Metal이 아닌 POLY-Si으로 Gate를 구성한다.(최근에는 여러가지 이유로 POLY-Si에서 Metal로 회귀했다고 한다.) 그렇다면 Gate 구성 물질로 왜 POLY-Si을 사용하게 됐을까? POLY-Si의 장점을 Metal과 비교하여 정리하면 아래와 같다. 1. Metal에 비해 녹는점이 높아 안정적인 동작이 가능하며 공정 프로세스 사용의 범위가 넓어진다. 2. POLY-Si 농도를 조절하여 Threshold voltage를 조정할 수 있다. Circuit은 전력 효율 등의 이유로 CMOS 집적방식으로 구현된다. 그런데 Gate가 Metal로 되어 있으면 NMOS 및 PMOS의 Thre..